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当研究室では、革新的な半導体超微細加工技術やバイオ材料プロセス技術の開発を目指して、プラズマ物理学、プラズマ化学、プラズマ物質相互作用に関連する学術分野において、実験およびモデリング・数値シミュレーション研究を行っています。医学部等他の学術分野の研究機関や企業との連携・共同研究も多く、国際的な研究ネットワークを構築しています。