附属施設 > 精密工学研究センター
有史以来文明は、ものづくり技術のたゆまない発展とともに進化してきました。本研究領域ではナノ、サブナノメータオーダの精度が要求される最先端の光学素子、半導体基板、MEMS・NEMSデバイスを作製する革新的なものづくり技術を創出します。我々の新しい技術が21世紀における新たな産業革命の引き金となって人類のさらなる発展に貢献することを理念とし、極限的な精度と能率の両立を実現する『ナノ製造プロセス』の研究・開発に取り組んでいます。
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有史以来文明は、ものづくり技術のたゆまない発展とともに進化してきました。本研究領域ではナノ、サブナノメータオーダの精度が要求される最先端の光学素子、半導体基板、MEMS・NEMSデバイスを作製する革新的なものづくり技術を創出します。我々の新しい技術が21世紀における新たな産業革命の引き金となって人類のさらなる発展に貢献することを理念とし、極限的な精度と能率の両立を実現する『ナノ製造プロセス』の研究・開発に取り組んでいます。