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有史以来、文明はものづくり技術のたゆまない発展とともに進化してきました。本研究領域では、ナノメートルからサブナノメートルオーダの精度が要求される最先端の光学素子や半導体基板の製造に向けて、革新的なものづくり技術を創出します。我々の開発した新技術が21世紀の新たな産業革命の引き金となり、人類のさらなる発展に貢献することを理念に掲げ、極限的な精度と能率の両立を実現する『ナノ製造プロセス』の研究・開発に取り組んでいます。